主要用途：
各類晶圓、矽、鍺、砷化镓、磷化銦、碳化矽、氮化镓、氮化鋁、氧化镓、銻化镓、銻化銦、碲鋅鎘、铌酸鋰、鉭酸鋰、金剛石。
設備結構及特點：
1、本機主要由機座、床身、真空吸盤、吸盤主軸、砂輪主軸、砂輪進給機構、好的控製係統、運動控製係統。
2、設備采用左右兩組精磨砂輪主軸 ，可在同一個節拍實現粗磨和精磨。
3、采用兩個10寸金剛石砂輪，砂輪粒度可根據產品需求選擇。
4、吸盤主軸通過精密絲杆導軌及伺服馬達驅動左右移動來實現粗磨和精磨。
5、真空吸盤根據產品需求定製。
6、砂輪進給機構采用上銀精密絲杆、導軌、三菱伺服馬達配合驅動砂輪主軸來實現精磨磨削。
7、本機采用在非接觸在線測量儀 ，目的是適時對產品的厚度進行測量。
8、控製係統采用三菱PLC、伺服馬達 、觸摸屏等。
特點：設備可以同時實現粗磨與精磨，采用精磨絲杆導軌模組搭載真空吸盤主軸來回切換粗磨與精磨位置，同時具備產品厚度控製功能。
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微信掃一掃主要技術參數：
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真空吸盤尺寸 |
300mm |
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真空吸盤數量 |
1個 |
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吸盤轉速 |
0-300rpm/min |
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吸盤電機功率 |
2KW |
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磨輪馬達功率 |
5.5KW |
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磨輪尺寸 |
10寸 |
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研磨方式 |
粗磨+精磨 |
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磨輪轉速 |
0-3000rpm/min |
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厚度控製精度 |
0.003mm |
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厚度控製範圍 |
0.2-10mm |
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光柵尺分辨率 |
≤0.1um |
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磨輪重複定位精度 |
1um |
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磨輪最小設定步距 |
0.1um/s |
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電源電壓 |
3相380V |
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設備尺寸 |
1700*1300*2170 |
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設備重量 |
1800KG |
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