上榜重点项目，有研德州两大项目建设“苗头”已现

“有研”是山东德州在中国“芯版图”上的一个重要“标签”。2022年，山东有研艾斯半导体材料有限公司集成电路用大硅片产业化项目、有研亿金新材料（山东）有限公司集成电路用高纯溅射靶材生产项目同时上榜德州市级以上重点项目。

这已是山东有研艾斯半导体材料有限公司集成电路用大硅片产业化项目连续两年（2021年与2022年）进入山东德州市级重点建设项目名单。该项目还于2021年进入山东省级重点建设项目名单，但今年未出现在山东省2022年省重点项目名单中。而有研亿金新材料（山东）有限公司集成电路用高纯溅射靶材生产项目进入了山东省2022年省重点项目名单。

此外，通过有研德州两大项目——集成电路用大硅片产业化项目及集成电路用高纯溅射靶材生产项目的近期招标情况来看，建设“苗头”已现。

高纯溅射靶材生产项目

2021年9月13日，有研新材发布公告称，公司拟投资建设有研亿金新材料有限公司靶材扩产项目，总投资3.28亿元。公告显示，该项目包括山东德州新建生产基地和昌平基地升级改造两部分，德州基地新建项目主要包括厂房、综合办公楼等建（构）筑物的建设、装修，设备购置与安装调试等，昌平基地提升项目主要是现有厂房、设备的升级优化。项目建成后产能达到73,000块/年。

造价咨询服务招标公告显示：随着半导体行业景气度逐步上升，全球晶圆加工需求保持稳定增长，大陆晶圆厂建设及投产进度明显高于全球水平，正带动国内半导体靶材市场较快增长。半导体靶材市场正逐渐向中国大陆转移，国内靶材企业面临良好市场机遇。为进一步扩大靶材产能和提升市场占有率，将技术优势向产业优势转化，做强做大靶材产业，持续保持领先地位，有研亿金新材料（山东）有限公司实施产品结构和区域布局上的“双优化”，在德州新建集成电路用高纯溅射靶材研发生产基地。

大硅片产业化项目

2019年12月18日，有研集团与德州市政府、株式会社RS Technologies、德州汇达在德州共同签署12英寸集成电路用大硅片产业化项目投资合作协议书。有研集团当时消息显示，该项目预计投资额62亿元，建设目标为年产360万片12英寸硅片。项目将建成为我国北方地区最大的集成电路用大硅片生产基地。

据了解，山东有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目于2018年7月签约落地山东德州，2019年3月份举行开工仪式，项目总投资80亿元，分两期建设。其中一期18亿元，二期62亿元。一期已于2020年10月16日量产。二期建设目标为年产360万片12英寸硅片。

天眼查显示，山东有研艾斯半导体材料有限公司成立于2020年3月11日，股东包括德州汇达半导体股权投资基金合伙企业（德州政府出资）、有研半导体硅材料股份公司（股东包括株式会社RS Technologies）、有研科技集团有限公司。

山东有研艾斯2021年4月官方消息显示，山东有研艾斯半导体材料有限公司是专注于12英寸硅片研发和产业化的企业，承担建设的“12英寸集成电路用大硅片产业化项目”通过了国家发改委和工信部窗口指导工作，是国内为数不多的列入国家集成电路产业规划布局的12英寸硅片项目，同时也是山东省重点投资项目。

2021年4月，山东新闻联播显示，德州有研半导体深化与日本RST株式会社合作开展12英寸半导体级硅片项目。在德州经开区，得益于与日本RST株式会社的合作，有研集成电路用大尺寸硅材料规模化生产项目进展顺利。当地政府拿出真金白银，兑现各级奖励资金超过2亿元。日本项目方投资800多万美元，将开展二期12英寸半导体级硅片项目。山东有研艾斯半导体材料有限公司CTO古头泰则表示，这里营商环境非常好，今年引进生产及检测相关的设备，明年确立量产工艺，为量产打下基础。

此外，山东省新动能基金管理有限公司消息显示，有研12英寸集成电路用大硅片产业化项目定位于28nm及以下线宽的技术水平。

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